SOLYZE

 

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Analyseur en ligne de gaz de process. L’instrument SOLYZE permet une détection large bande en temps réel. Il détecte la plupart des gaz légers, même lorsque les concentrations sont faibles. Il est particulièrement adapté pour la détection d’H2 et le suivi en continu des gaz corrosifs.

La taille et le poids de l’instrument sont réduits, grâce à son piège ionique de petite taille. Robuste et transportable, le SOLYZE peut être placé partout où vous voulez, par exemple directement sur la ligne de procédé analysée. Par ailleurs, l’ordinateur peut être déporté jusqu’à 3 mètres de l’instrument.

Caractéristiques de SOLYZE :

  • Mesures en temps réel.
  • Connexion très simple à votre process.
  • Quantification réalisée en un seul étalonnage.
  • Convient parfaitement au monitoring de la production des puces dans les industries des panneaux solaires et des semi-conducteurs.

 

Spécifications fonctionnelles

 

Ionisation

 

Impact électronique : la méthode de référence pour l’analyse par spectrométrie de masse.

 

 

Détection

 

Gamme de masse1-145u, 1-300u disponible en option
Résolution150 typiquement, 100 minimum
Temps de réponse∿ 80 ms
Gamme dynamique2 dizaines pour un seul scan, >3 dizaines en moyennant

 

Limite de détection

 

100 ppm en moyennant.

 

 

Performances analytiques 

 

Le SOLYZE est adapté pour la détection d’une large gamme de gaz :

  • Gaz corrosifs tels que SiF4, HF ou C2F6.
  • H2.
  • Air ambiant
  • Et bien d’autres !

 

Quantification possible par courbes d’étalonnage.                          

 

Spécifications techniques

 

Piège ionique
Type de séparateur de massespiège à ions auto-résonnant
Type de détecteurDynode multiplicateur d'électrons en continu
Filament Single Yttrium coated iridium
Vide
Pompe turbomoléculaire 70L.s-1
Gamme de pression Performance optimale à 2x10-7 Torr dans le piège.
EchantillonnageDouble chute de pression de l'échantillon
1ère chute de pressionChute jusqu'à ~10mbar, réalisée en utilisant une pompe chimique primaire.
Flux continuGaz introduit dans l'instrument à ~30 mL/min ( et thermostaté après la 1ère chute de pression).
Dimensions
Taille (Lxlxh)50x50x70cm
PoidsEnviron 65 kg
Sur roulettes
Environment
Gamme de température 0°C to 50°C
Caractéristiques électriques230Vac, 50Hz, max.1A

 

Logiciel

 

Le logiciel du SOLYZE :

 

Il permet de contrôler les différents éléments (pompes, chauffage, vannes, analyseur…) et de visualiser les données obtenues.

 

  • Un spectre en temps réel est disponible à tout moment en affichant les pics des composés analysés.

Logiciel spectre

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  • Un graphique des tendances est aussi disponible. Il montre l’intensité ou la concentration (quand les courbes d’étalonnage sont utilisées) des composés/pics qui ont été définis.

Logiciel trend graph

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  • Les composés ciblés peuvent aussi être mis à jour par l’utilisateur dans la bibliothèque.

 

 

L’analyseur SOLYZE a été créé dans le cadre du Projet Européen de Recherche DEMOSOLNOWAT. Ce projet collaboratif avait pour but de démontrer la viabilité d’une alternative sans liquide aux process utilisés par l’industrie des puces pour panneaux solaires à l’échelle industrielle. Plus d’informations sur ce projet sont disponibles en cliquant sur ce lien.

 

 

 

Applications du SOLYZE :



 

 

 

Vous souhaitez plus d’informations ? Contactez nous ou téléchargez la brochure de SOLYZE