Analyseur en ligne de gaz de process. L’instrument SOLYZE permet une détection large bande en temps réel. Il détecte la plupart des gaz légers, même lorsque les concentrations sont faibles. Il est particulièrement adapté pour la détection d’H2 et le suivi en continu des gaz corrosifs.
La taille et le poids de l’instrument sont réduits, grâce à son piège ionique de petite taille. Robuste et transportable, le SOLYZE peut être placé partout où vous voulez, par exemple directement sur la ligne de procédé analysée. Par ailleurs, l’ordinateur peut être déporté jusqu’à 3 mètres de l’instrument.
Caractéristiques de SOLYZE :
- Mesures en temps réel.
- Connexion très simple à votre process.
- Quantification réalisée en un seul étalonnage.
- Convient parfaitement au monitoring de la production des puces dans les industries des panneaux solaires et des semi-conducteurs.
Ionisation
Impact électronique : la méthode de référence pour l’analyse par spectrométrie de masse.
Détection
| Gamme de masse | 1-145u, 1-300u disponible en option |
| Résolution | 150 typiquement, 100 minimum |
| Temps de réponse | ∿ 80 ms |
| Gamme dynamique | 2 dizaines pour un seul scan, >3 dizaines en moyennant |
Limite de détection
100 ppm en moyennant.
Performances analytiques
Le SOLYZE est adapté pour la détection d’une large gamme de gaz :
- Gaz corrosifs tels que SiF4, HF ou C2F6.
- H2.
- Air ambiant
- Et bien d’autres !
Quantification possible par courbes d’étalonnage.
| Piège ionique | |
| Type de séparateur de masses | piège à ions auto-résonnant |
| Type de détecteur | Dynode multiplicateur d'électrons en continu |
| Filament | Single Yttrium coated iridium |
| Vide | |
| Pompe turbomoléculaire | 70L.s-1
|
| Gamme de pression | Performance optimale à 2x10-7 Torr dans le piège. |
| Echantillonnage | Double chute de pression de l'échantillon |
| 1ère chute de pression | Chute jusqu'à ~10mbar, réalisée en utilisant une pompe chimique primaire. |
| Flux continu | Gaz introduit dans l'instrument à ~30 mL/min ( et thermostaté après la 1ère chute de pression). |
| Dimensions | |
| Taille (Lxlxh) | 50x50x70cm |
| Poids | Environ 65 kg |
| Sur roulettes | |
| Environment | |
| Gamme de température | 0°C to 50°C |
| Caractéristiques électriques | 230Vac, 50Hz, max.1A |
Le logiciel du SOLYZE :
Il permet de contrôler les différents éléments (pompes, chauffage, vannes, analyseur…) et de visualiser les données obtenues.
- Un spectre en temps réel est disponible à tout moment en affichant les pics des composés analysés.
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- Un graphique des tendances est aussi disponible. Il montre l’intensité ou la concentration (quand les courbes d’étalonnage sont utilisées) des composés/pics qui ont été définis.
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- Les composés ciblés peuvent aussi être mis à jour par l’utilisateur dans la bibliothèque.
L’analyseur SOLYZE a été créé dans le cadre du Projet Européen de Recherche DEMOSOLNOWAT. Ce projet collaboratif avait pour but de démontrer la viabilité d’une alternative sans liquide aux process utilisés par l’industrie des puces pour panneaux solaires à l’échelle industrielle. Plus d’informations sur ce projet sont disponibles en cliquant sur ce lien.
Applications du SOLYZE :
